
SCREEN 美国设立尖端半导体清洗技术研发中心
SCREEN控股宣布拟在美国纽约州开设研发基地。该中心名为“SCREEN Advanced Technology Center of America, LLC(ATCA)”,将设在半导体相关研发设施“Albany NanoTech Complex”内。预计至2026财年(截至2027年3月)的投资额为120亿日元(约合5.4亿元人民币)。该公司将充分利用该设施的职能,并推进与第三方的合作,以推动尖端领域的开发。ATCA由929平方米的洁净室和462平方米的办公区组成。此外,该研发中心还将通过与IBM的共同开发,以及利用该设施内的曝光装置等进行器件形成与评估,致力于创出新一代工艺。
