Rapidus　搬入EUV光刻装置　目标2027年开始量产

　　Rapidus于12月18日宣布已把EUV（极紫外线）光刻装置运进北海道千岁市，开始在研发生产基地“IIM”安装荷兰阿斯麦（ASML）生产的“NXE：3800E”。这将是日本第一台用于量产的EUV光刻装置。该公司计划2025年4月开始启动中试生产线，2027年开始量产。阿斯麦日本事务所、以及三十多家装置和材料企业正在千岁市开设网点，因此Rapidus还欲通过区域合作加快研发速度。IIM占地面积为58万1884平方米，核心厂房——IIM-1栋的建筑面积为57443平方米。IIM-1栋的无尘室将安装可自由垂直水平移动的新传送线，其中一半将用作中试生产线。