ADEKA　台湾建设尖端逻辑半导体材料装置

　　ADEKA于2月17日公布，将在台湾投资25亿日元，建设最尖端逻辑半导体用材料的新装置。2022年8月开工建设，目标2024年4月开始商业生产。2023年左右将会真正启用最尖端半导体生产技术“EUV（极紫外线）”，届时将会掀起生产工艺和材料的技术革新，该公司欲尽快在台湾完善其生产体制，以扩大半导体领域业务。新装置将建设在其子公司——台湾艾迪科精密化学（台南市）厂区内。生产最尖端逻辑半导体时有一项布线环节“ALD（原子层沉积）成膜”，此次就是生产在该环节中使用的材料。