琳得科 晶圆保护新工艺 防止边缘开裂

  琳得科(LINTEC)接连开发出防止半导体晶圆开裂的新技术。由于晶圆中央部分形成了凸块,而边缘部分则没有,导致晶圆表面高度不一,晶圆边缘可能会因此引发翘曲或开裂问题。为此,该公司推出新工艺,即在晶圆边缘部分涂覆用于调整高度的紫外线(UV)固化树脂,并以材料加设备的成套形式进行推广。此外,琳得科还开发出用在针头挑取芯片环节中的新型胶带。通过紫外线照射可降低该胶带的粘性,从而实现无针挑取。

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