富士胶片 开发加入金属的EUV光刻胶

  富士胶片开发出在化学增幅型光刻胶(CAR)加入金属的金属掺杂光刻胶(MCR)。该产品通过含有金属成分提升了蚀刻抗性。在纳米压印光刻领域,该公司还新开发出可通过旋涂方式进行涂布的光刻胶。富士胶片将凭借具有优异生产效率的旋涂型产品为纳米压印光刻的正式普及做准备。在新一代封装领域,则利用薄膜型聚酰亚胺(PI)材料捕捉中介层和积层膜(BUF)的需求。

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