住友化学 大阪建半导体光刻胶新厂房

  住友化学于4月22日公布,为强化用于EUV(极端紫外线)等最尖端工艺的半导体光刻胶的开发评估体制,将在大阪工厂建设新厂房。该公司计划在2022年上半年建成新的洁净室厂房,配置新的曝光机和评估装置,提升研发效率,目标获得今后将成为主流趋势的EUV光阻剂的市场份额。光刻工艺是半导体制造环节之一,光刻胶是用于此方面的感光性树脂,JSR、东京应化工业、信越化学工业、住友化学、富士胶片这五家日本企业占据了光刻胶全球约90%的市场份额。

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