三菱化学集团　北九州新设光刻感光性聚合物装置

　　三菱化学集团于6月12日宣布将在北九州市的工厂内新设光刻胶用感光性聚合物生产装置。该公司拟投资数十亿日元，建设用于氟化氩（ArF）及极紫外（EUV）光刻胶的聚合物装置，计划分别于2025年10月和9月投产。随着半导体电路向微细化发展，ArF和EUV光刻胶市场有望增长，因此三菱化学将扩大供应体制，从而获取日益增长的原材料需求。新工厂投产后，其ArF用产品产能将提高至两倍以上，EUV用产品则是首次量产。