三菱化学集团 北九州新设光刻感光性聚合物装置

  三菱化学集团于6月12日宣布将在北九州市的工厂内新设光刻胶用感光性聚合物生产装置。该公司拟投资数十亿日元,建设用于氟化氩(ArF)及极紫外(EUV)光刻胶的聚合物装置,计划分别于2025年10月和9月投产。随着半导体电路向微细化发展,ArF和EUV光刻胶市场有望增长,因此三菱化学将扩大供应体制,从而获取日益增长的原材料需求。新工厂投产后,其ArF用产品产能将提高至两倍以上,EUV用产品则是首次量产。

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