JSR　收购美国Inpria

　　JSR于9月17日公布将收购美国从事新一代EUV（极紫外线）金属光刻胶的Inpria Corporation，通过追加取得79%的股份将其纳为独资子公司。现在最尖端工艺的5nm节点应用了化学增幅型光刻胶，但新一代3nm以下级别预计将适用金属光刻胶。JSR在ArF（氟化氩）、EUV这些当今最尖端光刻胶领域握有高市场份额，今后在新一代技术——金属光刻胶方面也将引领市场。