JSR 收购美国Inpria

  JSR于9月17日公布将收购美国从事新一代EUV(极紫外线)金属光刻胶的Inpria Corporation,通过追加取得79%的股份将其纳为独资子公司。现在最尖端工艺的5nm节点应用了化学增幅型光刻胶,但新一代3nm以下级别预计将适用金属光刻胶。JSR在ArF(氟化氩)、EUV这些当今最尖端光刻胶领域握有高市场份额,今后在新一代技术——金属光刻胶方面也将引领市场。

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