JSR 四日市扩产光阻材料 新厂房动工

  JSR已开始在三重县四日市市工厂推进半导体电路组成用光阻材料的设备扩产投资, 2021年8月上旬动工,计划2022年内竣工。该公司将在四日市工厂新建生产厂房。投资金额以及扩产幅度等细节虽然尚未公开,但是(JSR表示)“在半导体市场不断增长的背景下,要打造确保可以充分为客户提供稳定供应的生产体制”。此次主要扩产的是尖端半导体生产过程中使用的“ArF(氟化氩)光阻”以及最先进半导体生产所必须的“EUV(极紫外线)光阻”。

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