台TYS 半导体装置零部件的精密清洗新工厂竣工

  三菱化学控股的台湾子公司——太洋新技股份有限公司(TYS)将于近期建成半导体装置零件的清洗服务新工厂。由于新工厂将服务于更新一代半导体工艺,因此可通过自动化来提高质量,并导入最先进测量分析仪器,从而查明不良状况的原因。新工厂将致力于半导体生产工艺的成膜、蚀刻以及扩散等步骤的精密清洗。为应对细微污染,新工厂齐备了SEM(扫描电子显微镜)、3D图像分析装置、外观检测装置等最新机种。所有操作室均为无尘室,并会标记好每一个从用户处收来的受污染零件的处理数据,进行彻底的质量管理。新工厂计划于十一月开始开工。

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