信越化学 在日台扩产光刻胶

  信越化学工业于10月15日公布,将日本和台湾的两处从事光刻胶业务的工厂实施共计300亿日元的设备投资,扩产EUV(极紫外)光刻胶、ArF(氟化氩)光刻胶、以及提升尺寸精度的多层光刻胶。此次实施扩产的是直江津工厂(新泻县上越市)和台湾云林县工厂。将在两处工厂建设新厂房,直江津工厂目标2022年2月竣工,台湾工厂目标2021年2月竣工。此次台湾工厂不仅把多层光刻胶的产能提高50%,还实现了可以在此新生产EUV光刻胶。

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