住友化学 强化EUV光阻材料

  住友化学欲强化用于最尖端半导体工艺的EUV(极紫外线)光阻材料业务。在该产品在试制和评价用途中取得的实绩的基础之上,该公司获得了大型晶圆代工公司的量产用途订单。住友化学于九月内开始从大阪工厂(大阪市此花区)供应产品,抓住2-3年后预计可超过100亿日元的EUV市场。同时住友化学还将在计划2022年上半财年建设的大阪工厂新厂房强化光阻材料的质量管理体制。与拥有全球第一市场份额的ArF(氟化氩)液浸用光阻等产品一起,也逐步提高EUV的影响力。

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