ADEKA　新建EUV光刻材料专用设备

　　ADEKA于10月31日宣布将新建工厂，专门生产满足半导体精细化需求的新一代EUV（极紫外）光刻技术所需的金属氧化物光刻胶（MOR）用金属化合物。该公司计划在其鹿岛化学品工厂（茨城县神栖市）投资约32亿日元（约合1.6亿元人民币），建设厂房和生产装置。预计2026年4月动工建设，2028年4月开始商业运转。此举将完善面向客户的供应体制，为新一代EUV光刻装置的正式引入做准备。除了保证未来的扩产空间外，ADEKA还将探讨生产适用于光刻工艺技术革新的新材料。