ADEKA　高纯度双氧水扩产完毕　用于半导体制造

　　ADEKA于5月15日公布，其富士工厂（静冈县富士市）的高纯度双氧水生产设备的扩建工程已竣工。投资额未公开，产能扩大了30%，计划2024年7月开始商业化生产。该产品用于半导体制造过程中硅晶圆和生产装置的清洗。日本国内半导体企业的研究开发、投资建厂动作十分活跃，从而高纯度双氧水需求增加，ADEKA力图满足客户的稳定采购需求。该公司在富士工厂实施从双氧水到衍生品的一条龙生产。