岛津制作所 在华生产半导体装置用泵

  岛津制作所于6月9日宣布,已开始在其中国生产子公司——天津岛津液压有限公司(TSH)生产用于半导体生产装置的涡轮分子泵。该公司在现有工厂内新建了组装生产线,投资额约3亿日元(约合1350万元人民币),目前预计年产量为2000台。此举旨在增强面向中国国内市场的供应能力,从而提升供应链效率并降低成本。涡轮分子泵通过高速旋转内部的金属叶片来排出气体分子,从而创造真空环境。岛津制作所的产品广泛应用于半导体装置及涂层装置等领域。

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