大阳日酸　台湾扩销EUV光刻用高纯度氢气提纯装置

　　大阳日酸欲在台湾地区推广用于最尖端半导体制造中极紫外线（EUV）光刻工艺的氢气提纯装置。该公司已成功开发出去除特定杂质的工艺，目标在年内向客户展示去除杂质的保证值，最早或于明年将其应用于现有设备中。大阳日酸把用于半导体晶圆的气体提纯作为下一个研发主题，力争通过技术实现差异化竞争。其台湾法人——大阳日酸系统科技（新竹县湖口乡）负责研发和生产提纯装置，将氧气、氮气、氩气和氢气等大宗气体提纯至可用于半导体制造的纯度。大阳日酸是台湾地区唯一一家能够按照客户要求的标准生产提纯装置的厂家。