
日本航空电子工业 开发半导体制造用倾斜滑台
日本航空电子工业于7月15日公布,与电子机器制造商大隈电子(熊本市东区)共同开发了用于精密定位平台的倾斜滑台。该产品可高精度纠正样品的细微歪斜,使得加工精度和检测精度实现飞跃性提升。九月份将搭载于大隈电子的超微数字光学显微镜“ORES-6000系列”。该显微镜将供应给大型半导体元件制造商用于解析。
日本航空电子工业于7月15日公布,与电子机器制造商大隈电子(熊本市东区)共同开发了用于精密定位平台的倾斜滑台。该产品可高精度纠正样品的细微歪斜,使得加工精度和检测精度实现飞跃性提升。九月份将搭载于大隈电子的超微数字光学显微镜“ORES-6000系列”。该显微镜将供应给大型半导体元件制造商用于解析。