关东电化　半导体用特殊气体　致力于新开发产品

　　关东电化工业将致力于开发半导体用新型特殊气体。该公司用于半导体蚀刻工艺的低全球变暖潜能值（GWP）气体生产设备预计今年4月以后开始试运行，（长谷川淳一社长表示）“希望在2024财年内正式运行”。此外，该公司已开始开发新型低GWP气体，并将经营资源投入到新开发产品中，从而助力业务增长。关东电化于2023年11月开始在韩国进行研发。长谷川社长还表示希望在半导体投资越来越活跃的美国进行研究开发，进一步强化研发能力。