华特气体　大规模投资半导体气体

　　中国大型工业气体公司——华特气体股份（佛山市）拟大幅扩产其用于半导体和液晶面板制造的特种气体。除了2026年在江苏省新建工厂，并开始涉足生产三氟化氮（NF3）外，该公司还计划在广东省和四川省建设新工厂，江西省的工厂也正在扩建。中国电子产品用高纯气体的国产化比例还不足20%，华特气体也响应提高国产率的政策不断实施快速投资。（据该公司表示）江苏省如皋市新工厂的年产能为2000吨碳氟化合物，“计划生产NF3（用于硅晶圆的等离子体蚀刻）等产品”。