森田化学 在华生产半导体用高纯度氟酸

  森田化学工业将开始在浙江省生产半导体用高纯度药液。以在金华市合资公司生产的无水氢氟酸(HF)为原料,生产在半导体生产过程用于洗涤及腐蚀的高纯度氟酸及缓冲氟化氢(BHF)。预计初期投资金额为30多亿日元,目标明年秋季开始商业生产,同时还计划进行阶段性追加投资。以往该产品都从日本出口,为满足中国不断扩大的半导体产业的旺盛需求,该公司决定开始当地生产。每年生产2万吨HF的浙江森田新材料有限公司(与浙江三美化工有限公司对半出资)将在现有工厂的附近新建高纯度药液工厂。

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