东海碳素 固体SiC在韩国扩产20%

  东海碳素欲加速开展精细碳素业务。该公司计划扩建韩国东海碳素(TCK)的固体碳化硅(SiC)工厂,把年产能扩大10-20%。TCK已于五月份成为东海碳素的连结子公司。此次扩产总投资额为45亿日元,计划明年秋季投产。半导体生产中的蚀刻环节使用到聚焦环,固体碳化硅在聚焦环方面用途的需求正在急剧增加。该公司欲在大型半导体生产商集聚的韩国快速构筑扩产体制,致力于切实获取不断扩大的需求。TCK将拿下现有工厂的相邻地块,新建固体碳化硅的生产厂房。

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